展位号：2H19   
 

主营产品：

Tango Systems, Inc.,来自美国硅谷，主要产品为磁控溅射镀膜设备（PVD），可用于EMI Shielding、BSM、MEMS、TSV、UBM以及RDL等半导体工艺。 UnitySC，法国的的光学检测及计量设备领先供应商，产品范围涵盖基板、前端工序 (FEOL) 制造、晶圆级封装、3D IC以及功率半导体。 The PEER Group Inc., 来自于加拿大，是最大的半导体OEM厂商及工厂自动化软件供应商，服务产业涵盖半导体、光伏、LED、MEMS、存储、电子等产业。 Agilent的氦气检漏仪(（原瓦里安），可应用于半导体工艺设备、气路管道和气体传输设备的检漏。
 

PEER Group工业自动化软件

The PEER Group Inc.，最大的半导体OEM厂商及工厂自动化软件供应商，服务产业涵盖半导体、太阳能、LED、MEMS、存储、电子等。 帮助设备制造商自动化设备，收集和共享数据，从任何地方监控已部署设备的性能，全球协作并远程解决问题。 帮助半导体工厂从制造车间收集SECS/GEM数据或大流量EDA数据，控制设备、工艺及流程，监控全厂范围的设备表现。

Tango PVD溅射设备

Tango Systems, Inc.的Axcela™, 最佳的溅射设备，已证明了其工艺上的优越性和稳定性，易于使用，使客户能够用最低的拥有成本（CoO）为特定的应用搭配最优的工艺。每一个溅射腔体标准配置可安装3种不同的靶材，也可选配存放第四种材料。 Axcela™可应用于EMI Shielding、BSM、MEMS、TSV、UBM和RDL等。可满足从200mm到300mm，或330mm特定应用的不同晶圆尺寸、基底或工艺及产量需求。

UnitySC晶圆缺陷检测及计量设备

UnitySC提供光学检测及计量设备，产品范围涵盖基板、前端工序 (FEOL) 制造、晶圆级封装、3D IC以及功率半导体。

安捷伦氦气检漏仪

安捷伦的氦气检漏仪（原瓦里安），可应用于半导体工艺设备、气路管道和气体传输设备的检漏，具有最佳性能和效率。 – 六种不同的应用设置向导可帮助用户将仪器正确配置到最佳性能 – 无线手持式遥控 – 易于操作，简化维修 – 模拟量、RS232 和独立的 IO 接口等不同配置