华芯（嘉兴）晶圆载具空中驱动搬送车OHT，采用IPT(Inductive Power Transfer)非接触式供电体系，可实现点对点跨Inter/Intra 传送功能；符合SEMI标准，兼容8/12 inch料盒。
- 2-dimensional bar code defined position
- RFID reader in option for inventory check
- E84 & EAP communication by configurable
项目 | |
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| E84、SECS/GEM Communication |
安全规范 | |
| *提供12寸FAB的标规天车/可依据8寸FAB客户需求做客制化设计 |
